真空泵的分类
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按真空泵的工作原理归类
①抽除式,真空泵抽取体系中的气体,并将气体分子结构排向体系以外。
②捕集式。真空泵捕集体系中的气体分子结构,可以直接粘附在泵工作任务壁面上而不排出体系。
按真空泵结构归类
①机械式。这类真空泵相似于压缩机,归属于容积型的有往复式与回转式结构,也有归属于动力式的涡轮分子泵,两者都归属于抽除式真空泵。
②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两类形式,也有将两者搭配在一块的增压泵,也都归属于抽除式真空泵
③吸附式。依靠物理或化学方法使气体分子结构吸附在泵壁表面上,归属于捕集式真空泵。
按真空泵在体系中的工作任务职能作用归类
①主抽气泵。完成所需求的压力的主要工作任务泵。
②预抽气泵。当主抽气泵无法在大气环境状态可以直接開始抽取时,需用预抽泵先抽至某一的压力,主抽气泵方能进入工作任务。
③前级泵。当主抽气泵无法将所抽气体可以直接排向大气环境时,需串接前级泵输送。
④保持泵。当主抽气泵完成所需求的的压力停止工作后,鉴于体系漏泄或表面上蒸发掉等缘故,的压力很有可能增高,因而用保持泵持续抽取。