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本文比较了MTI的AccumeasureHD放大器和激光干涉仪进行非常小的位移测量的能力，并特别留意比较分辨率和精密度。通常，高分辨率干涉仪是本文讨论的精确测量类型的首选仪器。但是，MTI的技术为用户给予了出色的准确性和稳定性。此外，与广泛采用的高分辨率干涉仪相比，Accumeasure的设置更简单且价格实惠。在微定位方面的应用领域涉及光刻环节中半导体晶圆掩膜高度的精确测量。
硬件配置比较
MTI的AccumeasureHD放大器将电容性电场精确测量值（称为位移）转换为24位数字读数，以生成位置，厚度，运作和振动的精确测量值。这样可以消除鉴于模拟滤波，线性化，范围扩展和通道总和以进行厚度或台阶精确测量而可能发生的其他错误。
出于科学试验的目的，将新的D200型放大器与前置放大器和高清电容传感器探头（ASP-50M-CTA）结合采用，其测量范围为50微米（µm）。AccumeasureHD的分辨率为1皮米（pm），同时可以与精选探头一起给予皮米精密度。
已采用的PicoScale干涉仪代表一类设备1，特别是迈克尔逊干涉仪，它将来源于光线的光束分成不同的臂，然后将这些臂反射回分束器。在组合振幅之后，所得的干扰样图不立即朝向光线，反而是立即朝向光电检测器。
在此科学试验中，干涉仪由SH-CO2激光干涉仪传感器和PS-CTRL-V1.4-TAB3控制器组合而成。干涉仪的分辨率为70pmRMS。采用峰峰值（pk-pk）转换，这将是350pm（采用6倍将RMS转换为pk-pk）。
试验性比较
将CO2干涉仪传感器和MTIASP-50M-CTA探头安装到小型压电式挠性平台上。尽管两个传感器没有观测到完全相同的目标表面，但它们在机械和物理上都是闭合的。电容传感器探头嵌入平台中，以使其立即观察压电式挠曲运作。干涉仪安装在靠近平台的光学柱上。它指向安装在舞台顶部的后向反射镜。后向反射器与舞台的运作同步挪动。
为了更好地定义最小分辨率，在平台不挪动时进行精确测量。当载物台来回挪动12nm时也进行了精确测量。这有助于观察机械运动，并允许比较动态结果。压电式挠性位移台和干涉仪都安装在隔离的空气位移台上，以最大程度地减少可能干扰精确测量的地震事件。
该科学试验采用安捷伦信号发生器来生成10Hz方波数据信号，该数据信号被发送至高压放大器。这推动了压电式操作系统耶拿运作平台，其范围为100µm，来回挪动12nm。操作系统是开环增益的。